1、现在反应溅射法已被广泛应用于切削刀具、成型工具、注射模具和诸如冲头和冲模之类的通用器具，以增强其耐磨性和使用寿命。
2、对于反应溅射，可通过连续改变反应气体流量制得化学成分比连续变化的梯度薄膜。
3、三极反应溅射具有设备简单，工艺简便，镀层致密等特点。
4、脉冲溅射是一种新型的、用于消除直流反应溅射中异常放电的技术。
5、研究了用铟锡合金靶直流磁控反应溅射制备透明号电膜。
6、用磁控反应溅射法在不同氧分压下制备了氮氧化铪薄膜。
7、通过磁控反应溅射，在玻璃基底上制备了不同溅射温度下的氧化钛薄膜。
8、用射频反应溅射法制备出薄膜。
9、反应溅射中氧分压对薄膜的影响也很大，较高的氧气分压有助于较好结晶的二氧化钛薄膜的生成。